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文献
J-GLOBAL ID：200902183664476265
整理番号：02A0687198
ZnO及びIn2O3ターゲットの同時スパッタリング法による非晶質ZnO-In2O3透明導電膜
Amorphous ZnO-In2O3 transparent conductive films by simultaneous sputtering method of ZnO and In2O3 targets.
TOMINAGA K
(Univ. Tokushima, Tokushima, JPN)
,
TAKAO T
(Univ. Tokushima, Tokushima, JPN)
,
FUKUSHIMA A
(Univ. Tokushima, Tokushima, JPN)
,
MORIGA T
(Univ. Tokushima, Tokushima, JPN)
,
NAKABAYASHI I
(Univ. Tokushima, Tokushima, JPN)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 66 号： 3/4 ページ： 505-509 発行年： 2002年08月19日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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