文献
J-GLOBAL ID:200902183933572373
整理番号:00A0826835
SEM Based ADC Evaluation and Integration in an Advanced Process Fab.
著者 (3件):
RITCHISON J
(Texas Instruments, TX)
,
BEN-PORATH A
(Applied Materials Ltd., Rehovot, ISR)
,
MALOCSAY E
(Applied Materials Inc., TX)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
3998
ページ:
258-268
発行年:
2000年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)