文献
J-GLOBAL ID:200902184016095759
整理番号:98A0553736
分光偏光解析法の進歩
Advances in multichannel spectroscopic ellipsometry.
著者 (7件):
COLLINS R W
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
AN I
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
FUJIWARA H
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
LEE J
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
LU Y
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
KOH J
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
ROVIRA P I
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
313/314
ページ:
18-32
発行年:
1998年02月
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)