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文献
J-GLOBAL ID：200902184016095759
整理番号：98A0553736
分光偏光解析法の進歩
Advances in multichannel spectroscopic ellipsometry.
COLLINS R W
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
AN I
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
FUJIWARA H
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
LEE J
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
LU Y
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
KOH J
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
ROVIRA P I
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 313/314 ページ： 18-32 発行年： 1998年02月
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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