文献
J-GLOBAL ID:200902184026047213
整理番号:01A0212554
高度に選択的な異方性ドライエッチングによって作製したシリコン針とその電界放出電流特性
Silicon Needles Fabricated by Highly Selective Anisotropic Dry Etching and Their Field Emission Current Characteristics.
著者 (2件):
KANECHIKA M
(TOYOTA Central R & D Lab., Inc., Aichi, JPN)
,
MITSUSHIMA Y
(TOYOTA Central R & D Lab., Inc., Aichi, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
39
号:
12B
ページ:
7111-7114
発行年:
2000年12月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)