文献
J-GLOBAL ID:200902184043308713
整理番号:93A0960090
Dependence of the growth of Al2O3 films on the growth conditions in the ALE-like process.
著者 (2件):
FAN J-F
(Inst. Physical and Chemical Research (RIKEN), Saitama, JPN)
,
TOYODA K
(Inst. Physical and Chemical Research (RIKEN), Saitama, JPN)
資料名:
Amorphous Insulating Thin Films
(Amorphous Insulating Thin Films)
ページ:
517-522
発行年:
1993年
JST資料番号:
K19930557
ISBN:
1-55899-179-4
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)