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文献
J-GLOBAL ID：200902184072775819
整理番号：94A0018282
熱処理した液体封止CzochralskiGaAsでのEL2外部拡散
EL2 Out-Diffusion in Thermally Annealed Liquid-Encapsulated Czochralski GaAs.
OGATA J
(Keio Univ., Yokohama)
,
IWAI A
(Keio Univ., Yokohama)
,
CHICHIBU S
(Keio Univ., Yokohama)
,
MATSUMOTO S
(Keio Univ., Yokohama)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 32 号： 11A ページ： 5059-5061 発行年： 1993年11月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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