文献
J-GLOBAL ID:200902184162166064
整理番号:96A0333191
シランプラズマ化学における断面積,速度定数,輸送係数
Cross-Sections, Rate Constants and Transport Coefficients in Silane Plasma Chemistry.
著者 (3件):
PERRIN J
,
LEROY O
(ONERA, Palaiseau, FRA)
,
BORDAGE M C
(Univ. Paul Sabatier, Toulouse, FRA)
資料名:
Contributions to Plasma Physics
(Contributions to Plasma Physics)
巻:
36
号:
1
ページ:
3-49
発行年:
1996年
JST資料番号:
H0173A
ISSN:
0863-1042
CODEN:
BPPHAA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)