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文献
J-GLOBAL ID：200902184440495120
整理番号：01A0310145
自動化欠陥制限歩留り解析用のインラインウエハ検査データウェアハウス
In-line Wafer Inspection Data Warehouse for Automated Defect Limited Yield Analysis.
IWATA H
(Hitachi, Ltd., Yokohama-shi, JPN)
,
ONO M
(Hitachi, Ltd., Yokohama-shi, JPN)
,
KONISHI J
(Hitachi, Ltd., Yokohama-shi, JPN)
,
ISOGAI S
(Hitachi, Ltd., Ibaraki-ken, JPN)
,
FURUTANI T
(Hitachi Video and Information System Inc., Yokohama, JPN)
資料名：
IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
(IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop)
巻： 2000 ページ： 124-129 発行年： 2000年
JST資料番号： W0718A ISSN： 1078-8743 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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