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文献
J-GLOBAL ID：200902184478323676
整理番号：99A0497426
真空マイクロエレクトロニクスの展望
Recent Progress and Future Prospect of Vacuum Microelectronics.
伊藤順司
(電総研)
,
金丸正剛
(電総研)
,
松川貴
(電総研)
資料名：
電子情報通信学会論文誌 C-1
(Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-1)
巻： J82-C-1 号： 5 ページ： 249-259 発行年： 1999年05月25日
JST資料番号： S0623B ISSN： 0915-1893 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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