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文献
J-GLOBAL ID：200902184503108408
整理番号：93A0395798
X線吸収研究によるSiN薄膜中のNのダングリングボンドの同定
On the identification of N dangling bonds in SiN films using x-ray absorption studies.
PALOURA E C
(Aristotle Univ. Thessaloniki, Thessaloniki, GRC)
,
KNOP A
(Sietec GmbH, Berlin, DEU)
,
HOLLDACK K
(Humboldt Univ., Berlin, DEU)
,
DOEBLER U
(Sietec GmbH, Berlin, DEU)
,
LOGOTHETIDIS S
(Aristotle Univ. Thessaloniki, Thessaloniki, GRC)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 73 号： 6 ページ： 2995-3000 発行年： 1993年03月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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