文献
J-GLOBAL ID:200902184620599498
整理番号:93A0523737
低温低周波プラズマ蒸着したa-SixC1-x:H膜のAES微細構造研究
AES microstructural investigations of low-temperature, low-frequency plasma-deposited a-SixC1-x:H films.
著者 (4件):
GAT E
(ENSCM, Montpellier, FRA)
,
CROS B
(ENSCM, Montpellier, FRA)
,
BERJOAN R
(Inst. Science et Genie des Materiaux et Procedes, Font Romeu, FRA)
,
DURAND J
(ENSCM, Montpellier, FRA)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
64
号:
4
ページ:
345-351
発行年:
1993年04月
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)