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文献
J-GLOBAL ID：200902184802054845
整理番号：00A0888941
アンバランスドマグネトロンスパッタリング法により形成したDLC皮膜の特性
DLC Coating Film Properties in Unbalanced Magnetron Sputtering.
赤理孝一郎
(神戸製鋼所)
,
岩村栄治
(神戸製鋼所 材研)
資料名：
R&D神戸製鋼技報
(R&D/神戸製鋼技報)
巻： 50 号： 2 ページ： 58-61 発行年： 2000年09月01日
JST資料番号： F0164A ISSN： 0373-8868 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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