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文献
J-GLOBAL ID：200902184812746052
整理番号：96A1019003
バルクSi結晶からのナノメートル寸法の高周波機械共振器の作製
Fabrication of high frequency nanometer scale mechanical resonators from bulk Si crystals.
CLELAND A N
(California Inst. Technol., California)
,
ROUKES M L
(California Inst. Technol., California)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 69 号： 18 ページ： 2653-2655 発行年： 1996年10月28日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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