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文献
J-GLOBAL ID：200902184858643312
整理番号：95A0125318
磁気プラズマ動的アークジェットを用いたsp2およびsp3結合から成る非晶質炭素膜の特性評価と修正
Characterization and Modification of Amorphous Carbon Films Consisting of sp2 and sp3 Bonds Using Magneto-Plasma Dynamic Arc-Jet.
TANABE Y
(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)
,
BURKHARD G
(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)
,
ISHIKURA T
(Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd., Yokohama)
,
TSUNODA K
(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)
,
HASUO H
(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)
,
TAMARU M
(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)
,
TAMURA H
(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)
,
SAWAOKA A
(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)
,
UEMATSU K
(Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd., Yokohama)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 33 号： 12A ページ： 6684-6690 発行年： 1994年12月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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