文献
J-GLOBAL ID:200902185555028913
整理番号:98A0993120
三次元モールド相互接続デバイス(MID)のレーザ加工用コンタクトマスク技術
Contact mask technique for laser structuring of 3-D MID.
著者 (4件):
ROTH S
(Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU)
,
DIETEL C
(Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU)
,
ESSER G
(Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU)
,
GEIGER M
(Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU)
資料名:
Proceedings. IEEE/CPMT International Electronics Manufacturing Technology Symosium
(Proceedings. IEEE/CPMT International Electronics Manufacturing Technology Symosium)
巻:
22nd
ページ:
38-43
発行年:
1998年
JST資料番号:
T0858A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)