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文献
J-GLOBAL ID：200902185672191990
整理番号：93A0253835
酸素イオン注入分離プロセスに内在する熱生成ドナーの電子スピン共鳴測定と局在化
Electron spin resonance characterization and localization of a thermally generated donor inherent to the separation by implantation of oxygen process.
VANHEUSDEN K
(Katholieke Univ. Leuven, Leuven, BEL)
,
STESMANS A
(Katholieke Univ. Leuven, Leuven, BEL)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 73 号： 2 ページ： 876-889 発行年： 1993年01月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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