文献
J-GLOBAL ID:200902185674376504
整理番号:93A0953247
ZnOターゲットの平板マグネトロンスパッタリングにおけるエネルギーの高いO-イオンとO原子
Energetic O- Ions and O Atoms in Planar magnetron Sputtering of ZnO Target.
著者 (4件):
TOMINAGA K
(Univ. Tokushima, Tokushima)
,
SUEYOSHI Y
(Univ. Tokushima, Tokushima)
,
MUNFEI C
(Univ. Tokushima, Tokushima)
,
SHINTANI Y
(Univ. Tokushima, Tokushima)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
32
号:
9B
ページ:
4131-4135
発行年:
1993年09月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)