文献
J-GLOBAL ID:200902185737930701
整理番号:93A0961099
In-situ measurement of stress for Co-based superlattices during fabrication by rf-sputtering.
著者 (5件):
HATTORI K
(Nihon Univ., Chiba, JPN)
,
AKIMOTO H
(Nihon Univ., Chiba, JPN)
,
SUGIMOTO T
(Nihon Univ., Chiba, JPN)
,
NAKAGAWA K
(Nihon Univ., Chiba, JPN)
,
ITOH A
(Nihon Univ., Chiba, JPN)
資料名:
Journal of Magnetism and Magnetic Materials
(Journal of Magnetism and Magnetic Materials)
巻:
126
号:
1/3
ページ:
569-571
発行年:
1993年09月
JST資料番号:
H0644A
ISSN:
0304-8853
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)