文献
J-GLOBAL ID:200902185841646691
整理番号:93A0878747
N2中の急速熱アニーリングによる酸化物の品質の改善
Improvement of oxide quality by rapid thermal annealing in N2.
著者 (4件):
WANG L S
(National Tsing-Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
LIN M S
(National Tsing-Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
YOO C S
(National Tsing-Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
HUANG F S
(National Tsing-Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
74
号:
6
ページ:
3966-3969
発行年:
1993年09月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)