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文献
J-GLOBAL ID：200902186184389230
整理番号：99A0407850
GIS監視用半導体圧力センサシステムの開発
Smart Systems and Intelligent Sensors. A Semiconductor Pressure Sensing System for Monitoring of GIS.
井上悟
(三菱電機)
,
亀井光仁
(三菱電機)
,
伊藤隆史
(三菱電機)
,
高嶋和夫
(三菱電機)
,
宇佐美照夫
(三菱電機)
,
実森彰郎
(三菱電機)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 119-E 号： 4 ページ： 221-228 発行年： 1999年04月01日
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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