文献
J-GLOBAL ID:200902186189191551
整理番号:93A0819412
Spatial and angular nonuniformities from collimated sputtering.
著者 (4件):
DEW S K
(Univ. Alberta, Alberta, CAN)
,
LIU D
(Univ. Alberta, Alberta, CAN)
,
BRETT M J
(Univ. Alberta, Alberta, CAN)
,
SMY T
(Carleton Univ., Ontario, CAN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
11
号:
4
ページ:
1281-1286
発行年:
1993年07月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)