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文献
J-GLOBAL ID：200902186251759209
整理番号：02A0698411
ZrO2ゲート誘電体上の多結晶質シリコン電極の熱安定性
Thermal stability of polycrystalline silicon electrodes on ZrO2 gate dielectrics.
PERKINS C M
(Stanford Univ., California)
,
TRIPLETT B B
(Stanford Univ., California)
,
MCLNTYRE P C
(Stanford Univ., California)
,
SARASWAT K C
(Stanford Univ., California)
,
SHERO E
(ASM America, Arizona)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 81 号： 8 ページ： 1417-1419 発行年： 2002年08月19日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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