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文献
J-GLOBAL ID：200902186275953618
整理番号：99A0700827
チタンテトライソプロポキシドからの酸化チタンのKrFレーザCVD
KrF laser CVD of titanium oxide from titanium tetraisopropoxide.
WATANABE A
(National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN)
,
IMAI Y
(National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 348 号： 1/2 ページ： 63-68 発行年： 1999年07月06日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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