文献
J-GLOBAL ID:200902186410095406
整理番号:98A0194773
陰極アーク蒸発装置による単サイクルプラズマ窒化および硬質被覆堆積
Single cycle plasma nitriding and hard coating deposition in a cathodic arc evaporation device.
著者 (7件):
SANCHETTE F
(Innovatique, Chassieu, FRA)
,
DAMOND E
(Innovatique, Chassieu, FRA)
,
BUVRON M
(Innovatique, Chassieu, FRA)
,
HENRY L
(Innovatique, Chassieu, FRA)
,
JACQUOT P
(Innovatique, Chassieu, FRA)
,
RANDALL N
(Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
,
ALERS P
(Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
94/95
号:
1/3
ページ:
261-267
発行年:
1997年10月
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)