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文献
J-GLOBAL ID：200902186483461508
整理番号：98A0950493
有機金属化学気相蒸着によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の電気特性に及ぼす原料前駆体純度の影響
Influence of the Purity of Source Precursors on the Electrical Properties of Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films Prepared by Metalorganic Chemical Vapor Deposition.
FUJISAWA H
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
YOSHIDA M
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
SHIMIZU M
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
NIU H
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37 号： 9B ページ： 5132-5136 発行年： 1998年09月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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