文献
J-GLOBAL ID:200902186581167901
整理番号:93A0552229
ZrO2の化学蒸着に対する前駆体としてのジルコニウム・アセチルアセトネート
Zirconium acetylacetonate as a precursor for the chemical vapour deposition of ZrO2.
著者 (5件):
DZJUBENKO N
(Moscow State Univ., Moscow, SUN)
,
MARTYNENKO L
(Moscow State Univ., Moscow, SUN)
,
ZHARKOVA N
(Moscow State Univ., Moscow, SUN)
,
GAVRISCHUK E
(Inst. Highly Pure Substances, N. Novgorod, SUN)
,
GIBIN A
(Inst. Highly Pure Substances, N. Novgorod, SUN)
資料名:
Materials Science & Engineering. B. Solid-State Materials for Advanced Technology
(Materials Science & Engineering. B. Solid-State Materials for Advanced Technology)
巻:
18
号:
3
ページ:
232-233
発行年:
1993年04月15日
JST資料番号:
T0553A
ISSN:
0921-5107
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)