文献
J-GLOBAL ID:200902186658351581
整理番号:94A0114351
高純度ガスの検査のフィロソフィーと方法論
Testing philosophy and methodology for UHP gas handling components.
著者 (2件):
WANG H-C
(American Air Liquide, IL)
,
LI Y-E
(American Air Liquide, IL)
資料名:
Particles in Gases and Liquids 3
(Particles in Gases and Liquids 3)
ページ:
105-117
発行年:
1993年
JST資料番号:
K19940047
ISBN:
0-306-44485-2
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)