文献
J-GLOBAL ID:200902186691759340
整理番号:94A0258364
A Step-Height Standard for Surface Profiler Calibration.
著者 (4件):
TAKACS P Z
(Brookhaven National Lab., New York)
,
LI M X-O
(Brookhaven National Lab., New York)
,
FURENLID K
(Brookhaven National Lab., New York)
,
CHURCH E L
(USA ARDEC, New Jersey)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1995
ページ:
235-244
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)