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文献
J-GLOBAL ID：200902186693693975
整理番号：01A0796323
MSTのためのプラズマ支援室温ボンディング
Plasma assisted room temperature bonding for MST.
WEINERT A
(Chalmers Univ. Technol., Goeteborg, SWE)
,
AMIRFEIZ P
(Chalmers Univ. Technol., Goeteborg, SWE)
,
BENGTSSON S
(Chalmers Univ. Technol., Goeteborg, SWE)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A92 号： 1/3 ページ： 214-222 発行年： 2001年08月01日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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