文献
J-GLOBAL ID:200902186764233741
整理番号:02A0961963
CF4のrfプラズマの二次元モデル化 周期的定常状態,電源電圧の階段的変化後の過渡応答および一次元モデルとの比較
Two-dimensional modelling of CF4 rf plasmas: Periodic steady state, transient response after step change of power source voltage, and comparison with one-dimensional modelling.
著者 (4件):
SO S-Y
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
ODA A
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
SUGAWARA H
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
SAKAI Y
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻:
35
号:
22
ページ:
2978-2987
発行年:
2002年11月21日
JST資料番号:
B0092B
ISSN:
0022-3727
CODEN:
JPAPBE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)