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文献
J-GLOBAL ID：200902186985143550
整理番号：02A0568931
時空間閉じ込め型クラスター源を用いて発生した狭いサイズ分布のシリコンクラスタービーム
Narrow size-distributed silicon cluster beam generated using a spatiotemporal confined cluster source.
IWATA Y
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
KISHIDA M
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
MUTO M
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
YU S
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
SAWADA T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FUKUDA A
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
TAKIYA T
(Hitachi Zosen Corp., Osaka, JPN)
,
KOMURA A
(Hitachi Zosen Corp., Osaka, JPN)
,
NAKAJIMA K
(Kohshien Kinzoku Corp., Nishinomiya, JPN)
資料名：
Chemical Physics Letters
(Chemical Physics Letters)
巻： 358 号： 1/2 ページ： 36-42 発行年： 2002年05月24日
JST資料番号： B0824A ISSN： 0009-2614 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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