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文献
J-GLOBAL ID：200902187023575048
整理番号：00A0858415
PZT薄膜を用いる薄板縦振動子接触プローブセンサ
Thin Plate Longitudinal Vibrator Touch Probe Sensor using PZT Thin Film.
KUROSAWA M K
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
KANDA T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
HIGUCHI T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
MORITA T
(Inst. Physical and Chemical Res., Wako, JPN)
資料名：
Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium
(Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)
巻： 1999 号： Vol.1 ページ： 703-706 発行年： 1999年
JST資料番号： A0437C ISSN： 1051-0117 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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