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文献
J-GLOBAL ID：200902187181014983
整理番号：99A0772555
シランRF放電中で粒子成長に気体流が及ぼす効果
Effects of Gas Flow on Particle Growth in Silane RF Discharges.
MATSUOKA Y
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
SHIRATANI M
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
FUKUZAWA T
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
WATANABE Y
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KIM K-S
(Kangwon National Univ., Kangwon-Do, KOR)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38 号： 7B ページ： 4556-4560 発行年： 1999年07月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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