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文献
J-GLOBAL ID：200902187185182791
整理番号：01A0052791
結晶シリコン基板上のMgF2及びCeO2膜を用いた二重層反射防止コーティング
Double-layer anti-reflection coating using MgF2 and CeO2 films on a crystalline silicon substrate.
LEE S E
(Sungkyunkwan Univ., Kyunggi-do, KOR)
,
CHOI S W
(Sungkyunkwan Univ., Kyunggi-do, KOR)
,
YI J
(Sungkyunkwan Univ., Kyunggi-do, KOR)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 376 号： 1/2 ページ： 208-213 発行年： 2000年11月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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