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文献
J-GLOBAL ID：200902187538910931
整理番号：93A0194738
アルキン安定化銅(I)ヘキサフルオロアセチルアセトナト錯体から化学蒸着した銅
Chemical Vapor Deposited Copper from Alkyne Stabilized Copper(I) Hexafluoroacetylacetonate Complexes.
BAUM T H
(IBM Almaden Research Center, California)
,
LARSON C E
(IBM Almaden Research Center, California)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 140 号： 1 ページ： 154-159 発行年： 1993年01月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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