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文献
J-GLOBAL ID：200902187825543010
整理番号：94A0452438
ラジオ周波数マグネトロンスパッタリングによって堆積させた極端紫外Mo/Si多層膜鏡
Extreme-ultraviolet Mo/Si multilayer mirrors deposited by radio-frequency-magnetron sputtering.
MONTCALM C
(Univ. Quebec, Quebec, CAN)
,
SULLIVAN B T
(National Research Council of Canada, Ontario, CAN)
,
PEPIN H
(Univ. Quebec, Quebec, CAN)
,
DOBROWOLSKI J A
(National Research Council of Canada, Ontario, CAN)
,
SUTTON M
(McGill Univ., Quebec, CAN)
資料名：
Applied Optics
(Applied Optics)
巻： 33 号： 10 ページ： 2057-2068 発行年： 1994年04月01日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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