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文献
J-GLOBAL ID：200902187958398462
整理番号：99A0751866
低温のプラスチック基板上に作製したポリシリコン薄膜トランジスタ
Polysilicon thin film transistors fabricated on low temperature plastic substrates.
CAREY P G
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
SMITH P M
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
THEISS S D
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
WICKBOLDT P
(Lawrence Livermore National Lab., California)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 17 号： 4,Pt.2 ページ： 1946-1949 発行年： 1999年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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