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文献
J-GLOBAL ID：200902188136761073
整理番号：02A0698110
シリコン基板のキャリア寿命測定に用いるキンヒドロン/メタノール処理
Quinhydrone/Methanol Treatment for the Measurement of Carrier Lifetime in Silicon Substrates.
TAKATO H
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
SAKATA I
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
SHIMOKAWA R
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 41 号： 8A ページ： L870-L872 発行年： 2002年08月01日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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