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文献
J-GLOBAL ID：200902188182472574
整理番号：00A0287184
空気軸受制御による走査近視野光学顕微鏡法プローブスライダを用いた線-間隔パターンの1.5Mbit/s直接読取
1.5-Mbit/s direct readout of line-and-space patterns using a scanning near-field optical microscopy probe slider with air-bearing control.
ISSIKI F
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
ITO K
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
ETOH K
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
HOSAKA S
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 76 号： 7 ページ： 804-807 発行年： 2000年02月14日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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