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文献
J-GLOBAL ID：200902188687420960
整理番号：93A0685462
ヘリウムの低圧rf放電における増強グロー機構の研究
Investigation of an Enhanced Glow Structure in a Low-Pressure rf Discharge in Helium.
FLOHR R
(Christian-Albrechts-Univ. Kiel, Kiel, DEU)
,
SCHIRMER H
(Christian-Albrechts-Univ. Kiel, Kiel, DEU)
,
PIEL A
(Christian-Albrechts-Univ. Kiel, Kiel, DEU)
資料名：
Contributions to Plasma Physics
(Contributions to Plasma Physics)
巻： 33 号： 3 ページ： 153-168 発行年： 1993年
JST資料番号： H0173A ISSN： 0863-1042 CODEN： BPPHAA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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