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文献
J-GLOBAL ID：200902188755498875
整理番号：01A1049045
ポジ型フォトレジストのためのペンダントケタール基を持つ新規重合体の調製と特性化
Preparation and Characterization of Novel Polymers Having Pendant Ketal Moieties for Positive Photoresists.
LIU J-H
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
SHIH J-C
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
資料名：
Macromolecular Chemistry and Physics
(Macromolecular Chemistry and Physics)
巻： 202 号： 15 ページ： 2986-2991 発行年： 2001年10月17日
JST資料番号： D0010A ISSN： 1022-1352 CODEN： MCHPES 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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