文献
J-GLOBAL ID:200902188909540888
整理番号:02A0355692
反付着層をもつ複製過程を使用して作製したふっ素化ポリイミドの導波路
Fluorinated Polyimide Waveguide Fabricated Using Replication Process with Antisticking Layer.
著者 (1件):
SHIODA T
(Mitsui Chemicals, Inc., Chiba, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
41
号:
3A
ページ:
1379-1385
発行年:
2002年03月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)