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文献
J-GLOBAL ID：200902189061115070
整理番号：00A0122698
低エネルギー電子ビームプロキシミティ投影リソグラフィー ミッシングリンクの発見
Low energy electron-beam proximity projection lithography: Discovery of a missing link.
UTSUMI T
(Nanolith, Inc., New Jersey)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 17 号： 6 ページ： 2897-2902 発行年： 1999年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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