文献
J-GLOBAL ID:200902189287297987
整理番号:97A0137737
低コヒーレンス共焦点干渉顕微鏡による多層の厚みと屈折率の同時測定
Simultaneous measurement of thicknesses and refractive indices of multiple layers by a low-coherence confocal interference microscope.
著者 (2件):
FUKANO T
(Sci. Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
YAMAGUCHI I
(Inst. Physical and Chemical Res.(RIKEN), Saitama, JPN)
資料名:
Optics Letters
(Optics Letters)
巻:
21
号:
23
ページ:
1942-1944
発行年:
1996年12月01日
JST資料番号:
H0690A
ISSN:
0146-9592
CODEN:
OPLEDP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)