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文献
J-GLOBAL ID：200902189718954875
整理番号：93A0344204
ゾルゲル法による五酸化タンタル膜の合成と性質
Preparation and Properties of Tantalum Oxide Films by Sol-Gel Method.
大石知司
(日立 日立研)
,
中沢哲夫
(日立 日立研)
,
加藤明
(日立 日立研)
資料名：
電子情報通信学会論文誌 C-2
(Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2)
巻： 76 号： 3 ページ： 85-93 発行年： 1993年03月
JST資料番号： L0196A ISSN： 0915-1907 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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