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文献
J-GLOBAL ID：200902189759122116
整理番号：02A0271027
有角櫛形駆動をもつ走査微小鏡
A Scanning Micromirror with Angular Comb Drive Actuation.
PATTERSON P R
(Univ. California at Los Angeles, California)
,
HAH D
(Univ. California at Los Angeles, California)
,
NGUYEN H
(Univ. California at Los Angeles, California)
,
TOSHIYOSHI H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
CHAO R-M
(Univ. California at Los Angeles, California)
,
WU M C
(Univ. California at Los Angeles, California)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 15th ページ： 544-547 発行年： 2002年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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