文献
J-GLOBAL ID:200902189855723783
整理番号:01A0650325
高κゲート誘電体 現状と材料特性の考察
High-κ gate dielectrics: Current status and materials properties considerations.
著者 (3件):
WILK G D
(Agere Systems, New Jersey)
,
WALLACE R M
(Univ. North Texas, Texas)
,
ANTHONY J M
(Univ. South Florida, Florida)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
89
号:
10
ページ:
5243-5275
発行年:
2001年05月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)