文献
J-GLOBAL ID:200902189999337586
整理番号:93A0507285
多成分薄膜の組成可変蒸着装置
Device for depositing multicomponent thin films of variable composition.
著者 (4件):
BOIKO E B
(A.N. Sevchenko Scientific Research Inst. Applied Physics Problems, Minsk, SUN)
,
KOMAROV F F
(A.N. Sevchenko Scientific Research Inst. Applied Physics Problems, Minsk, SUN)
,
SOLOV’EV V S
(A.N. Sevchenko Scientific Research Inst. Applied Physics Problems, Minsk, SUN)
,
TISHKOV V S
(A.N. Sevchenko Scientific Research Inst. Applied Physics Problems, Minsk, SUN)
資料名:
Instruments and Experimental Techniques
(Instruments and Experimental Techniques)
巻:
35
号:
5 Pt 2
ページ:
937-938
発行年:
1993年04月
JST資料番号:
E0121B
ISSN:
0020-4412
CODEN:
INETAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
ロシア (RUS)
言語:
英語 (EN)