文献
J-GLOBAL ID:200902190102655902
整理番号:02A0625578
ETS-1三非球面ミラーイメージングシステムを用いた微細パターン認識
Fine Pattern Replication Using ETS-1 Three-Aspherical Mirror Imaging System.
著者 (8件):
WATANABE T
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
KINOSHITA H
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
HAMAMOTO K
(Fac. Engineering, Hyogo, JPN)
,
HOSOYA M
(HOYA Corp., Tokyo, JPN)
,
SHOKI T
(HOYA Corp., Tokyo, JPN)
,
HADA H
(Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
,
KOMANO H
(Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
,
OKAZAKI S
(Assoc. Super-Advanced Electronics Technol., Kanagawa, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
41
号:
6B
ページ:
4105-4110
発行年:
2002年06月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)