文献
J-GLOBAL ID:200902190180833590
整理番号:00A0596573
コンプライアント基板上に成長したエピタキシャル層の臨界厚に与える歪み移動の効果
Effect of strain transfer on critical thickness for epitaxial layers grown on compliant substrate.
著者 (1件):
HUANG F Y
(IBM Microelectronics, New York)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
76
号:
21
ページ:
3046-3048
発行年:
2000年05月22日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)